Electron Beam Evaporator

Leistungsumfang

Das Max-Planck-Institut für Mikrostrukturphysik beschafft eine vollständige Elektronenstrahl-Verdampfungsanlage (PVD-System) als schlüsselfertige Einheit. Die Anlage soll dünne Schichten aus Materialien wie Titan, Chrom, Gold, Silber und Aluminium auf Substrate im Hochvakuum aufbringen. Zum Lieferumfang gehören u. a. eine rotierende Substrathalterung (100x100 mm oder Ø100 mm), ein Kühlsystem, ein Substratshutter aus Edelstahl, eine Vorvakuumpumpe (bis 6 m³/h) sowie eine Turbomolekularpumpe mit 685 l/s Saugleistung, ein Vollbereichs-Vakuummessgerät und ein Elektronenstrahlverdampfer mit bis zu 6 kW Leistung.

Ebenfalls enthalten sind ein Quarz-Schwingkristallsensor, ein Thin Film Deposition Controller sowie eine Windows-basierte PC-Steuerung. Die Lieferung umfasst alle Transport-, Verpackungs-, Versicherungs- und Zollkosten. Zum Leistungsumfang zählen außerdem die Montage, Inbetriebnahme und Einweisung des Bedienpersonals am Standort des Instituts in Halle (Saale). Die Gewährleistungsfrist beträgt mindestens 24 Monate.

Anforderungen an die Leistung

• Die Anlage muss eine interne Höhe von mindestens 500 mm aufweisen und der Elektronenstrahlverdampfer muss zentral unterhalb des Substrats positioniert sein.
• Der Abstand zwischen Quelle und Substrat soll etwa 400 mm betragen; eine optionale Glovebox-Integration mit zusätzlicher Tür muss möglich sein.
• Die rotierende Substrathalterung muss Substrate bis 100x100 mm oder Ø100 mm aufnehmen und eine Rotationsgeschwindigkeit von 10 bis 30 rpm ermöglichen.
• Der Substratshutter muss elektropneumatisch betätigt werden und aus Edelstahl gefertigt sein.
• Der Basisdruck der Pumpenanordnung muss kleiner oder gleich 5x10-7 mbar betragen.
• Das Vakuummessgerät muss den gesamten Bereich von Atmosphärendruck bis 5x10-9 mbar abdecken und nahe der Substratebene positioniert sein.
• Der Elektronenstrahlverdampfer muss eine Hochspannung von bis zu 10 kV, einen Strom von bis zu 600 mA und eine Leistung von bis zu 6 kW bereitstellen.
• Jedes Pocket muss ein Volumen von mindestens 7 cc aufweisen; mindestens 4 Pockets sind erforderlich.
• Der Thin Film Deposition Controller muss eine Frequenzauflösung von +/- 0,012 Hz bei 4 Messungen/Sekunde und eine Dickenauflösung von 0,015 Ångström bei 4 Messungen/Sekunde erreichen.
• Die Lieferzeit darf maximal 10 Monate ab Auftragserteilung betragen; alle Liefer- und Transportkosten sind im Angebotspreis einzuschließen.
• Die Gewährleistung muss mindestens 24 Monate betragen.
• Dem Angebot ist eine detaillierte technische Spezifikation als separater Anhang beizufügen, in der alle angeforderten Komponenten und Funktionen vollständig aufgeführt sind.

Vertrag und Vergütung

Es gilt ein Kaufvertrag auf Basis der Zusätzlichen Vertragsbedingungen der Max-Planck-Gesellschaft (ZVB, Stand 03.07.2020) sowie der VOL/B. Die Vergütung erfolgt nach einem der zwei angebotenen Zahlungspläne als Festpreis (40/40/20 oder 90/10). Zahlung ist innerhalb von 30 Kalendertagen nach vollständiger Leistungserbringung und Zugang einer ordnungsgemäßen Rechnung fällig. Die MPG kann fällige Zahlungen zurückhalten, solange Ansprüche aus unvollständigen oder mangelhaften Leistungen bestehen.

Die MPG ist zum sofortigen Rücktritt oder zur fristlosen Kündigung berechtigt, wenn gegen wesentliche Anweisungen, Exportbestimmungen oder Datenschutzbestimmungen verstoßen wird. AGB des Auftragnehmers sind ausgeschlossen; Abweichungen von den ZVB bedürfen der schriftlichen Bestätigung durch die MPG.

Ablauf des Verfahrens

Die Vergabeunterlagen wurden am 11.09.2026 versandt. Die Angebotsfrist endet am 02.10.2026 um 12:00 Uhr. Die Bindefrist endet am 30.10.2026. Angebote sind ausschließlich elektronisch über die Vergabeplattform einzureichen. Die Vergabestelle behält sich vor, den Auftrag auf Grundlage des Erstangebots ohne Verhandlung zu vergeben. Ein geplantes Zuschlagsdatum ist in den Unterlagen nicht genannt.

Was Vergabestellen daraus mitnehmen können

Die Leistungsbeschreibung ist klar strukturiert und verwendet eine tabellarische Auflistung technischer Mindestkriterien auf Englisch, was bei internationalen Märkten für Laborgeräte sinnvoll ist und Missverständnissen vorbeugt. Das Wertungsschema mit 100 % Preis ist für standardisierte Geräte vertretbar, könnte aber bei komplexen Forschungsanlagen durch technische Qualitätskriterien ergänzt werden, um Fehlanreize zu vermeiden.

Die Anforderung einer Anzahlungsbürgschaft ist ein übertragbares Sicherungsinstrument für Beschaffungen mit hohem Anzahlungsanteil und langer Lieferzeit. Der Vorbehalt, auf Grundlage des Erstangebots ohne Verhandlung zuzuschlagen (§ 12 Abs. 4 UVgO), sollte nur dann genutzt werden, wenn die Leistungsbeschreibung tatsächlich abschließend ist. Die Pflicht zur Einreichung einer separaten detaillierten technischen Spezifikation als Angebotspflichtanlage ist eine gute Praxis, da sie eine belastbare Vergleichbarkeit der Angebote sicherstellt.