Beschafft wird ein Sheet Resistance Profilometer für 300-mm-Wafer (Sheet Resistance Measurement Tool). Das Gerät dient der Messung des Schichtwiderstands dünner Metallschichten nach der Abscheidung auf Wafern mit einem Durchmesser von 100 mm bis 300 mm. Es wird eine Einheit beschafft, optional mit Kalibrierproben.
| Reichweite | national/EU (oeVergabe) |
| Vergabeart | Öffentliche Ausschreibung |
| Kategorie | Sonstige |
| Erfüllungsort | Fraunhofer IZM, Gustav-Meyer-Allee 25, D - 13355 Berlin |
| Website | https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/PublicationControllerServlet?f Freischalten |
| Formblatt | 498 KB | |
| Formblatt | 163 KB | |
| Sonstige | 8 KB | |
| Sonstige | 62 KB | |
| Leistungsverzeichnis | 10 KB | |
| Sonstige | 211 KB | |
| Sonstige | 163 KB | |
| Sonstige | 142 KB | |
| Sonstige | 756 KB | |
| Sonstige | 543 KB | |
| Sonstige | 196 KB | |
| Sonstige | 76 KB | |
| Sonstige | 162 KB | |
| Sonstige | 63 KB |
Nutzen Sie dieses und über 100.000 weitere Vergabeunterlagen als Orientierung: vergleichbare Leistungsverzeichnisse finden, Kriterien recherchieren und mit unseren KI-Generator-LVs und -LB in Minuten erstellen. Alles in unserem Vergabe-Archiv.
Muster-Leistungsverzeichnisse ansehen Vergabe-Archiv durchsuchenBeschafft wird ein Sheet Resistance Profilometer für 300-mm-Wafer in einer Stückzahl von 1. Das Gerät soll den Schichtwiderstand dünner Metallschichten nach der Abscheidung auf Wafern mit Durchmessern von 100 mm bis 300 mm messen. Die genauen technischen Spezifikationen sind in der Anlage 'Detailed Technical Specifications_PR1295450_SheetResistanceMeasurementTool.pdf' enthalten, die dem Leistungsverzeichnis beigefügt ist.
Zusätzlich besteht eine optionale Position für Kalibrierproben (Option 1, LV 1.10), die der Auftraggeber nach eigenem Ermessen abrufen kann. Die Lieferzeit ist als verbindliche Angabe in Kalenderwochen ab Auftragsvergabe zu nennen. Ein Einsatzort ist den vorliegenden Unterlagen nicht explizit zu entnehmen, jedoch ist der Auftraggeber die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12.
Der Vertrag umfasst die Lieferung des Geräts zu einem Festpreis (Nettopreis ohne Umsatzsteuer, USt. 19 %). Ein einseitiges Optionsrecht des Auftraggebers für zusätzliche Leistungen (Kalibrierproben) ist vereinbart. Vertragsbestandteile sind die Leistungsbeschreibung, die Allgemeinen Einkaufsbedingungen der Fraunhofer-Gesellschaft (April 2026), die VOL/B in aktueller Fassung, die kaufmännischen Bedingungen gemäß Anlage B_002, die Nachhaltigkeitsstandards sowie das Export-Klassifizierungsformular.
Eine Anzahlungsbürgschaft ist als Anlage vorgesehen (B_006_BankbürgschaftBankguarantee.pdf). Angaben zu Vertragsstrafen, Kündigungsrechten und Service Levels sind in den vorliegenden Unterlagen nicht enthalten.
Das Verfahren ist als öffentliche Ausschreibung ausgestaltet. Ein konkreter Abgabetermin für Angebote ist in den vorliegenden Vergabeunterlagen nicht angegeben. Der Auftraggeber weist darauf hin, dass der Betrieb der Fraunhofer-Zentrale vom 21. Dezember 2026 bis 03. Januar 2027 eingeschränkt ist und in dieser Zeit keine Auskünfte erteilt werden. Die Zuschlagserteilung wird nach Abschluss der Angebotsprüfung vorgenommen; es wird angenommen, dass die Auftragserteilung am letzten Tag der Zuschlagsfrist erfolgt.
Weitere Verfahrensdaten sind den vorliegenden Unterlagen nicht zu entnehmen.
Aus den Original-Unterlagen dieses Verfahrens gewonnen.
Die öffentliche Ausschreibung ist das nationale Gegenstück zum offenen Verfahren: unbeschränkter Bieterkreis, keine vorgeschaltete Eignungsprüfung, Angebote werden direkt eingereicht.
Die Bekanntmachung stammt aus einer Quelle, die nationale und EU-weite Verfahren gemeinsam führt. Ob ober- oder unterschwellig vergeben wurde, steht in der Bekanntmachung selbst und in den Vergabeunterlagen des Verfahrens.
Für eine eigene Beschaffung lässt sich aus diesem Verfahren mehr ableiten als der Gegenstand: wie der Auftraggeber die Leistung beschrieben und gegliedert hat, welche Eignungsnachweise er verlangt, wie er Preis und Qualität gewichtet und welche Vertragsbedingungen er beilegt. Genau diese Unterlagen liegen im Vergabe-Archiv vollständig vor, auch nachdem das Verfahren auf den Vergabeplattformen offline genommen wurde.
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 ist der öffentliche Auftraggeber dieser Ausschreibung mit Erfüllungsort Fraunhofer IZM, Gustav-Meyer-Allee 25, D - 13355 Berlin.
Beschafft wird ein Sheet Resistance Profilometer für 300-mm-Wafer in einer Stückzahl von 1. Das Gerät soll den Schichtwiderstand dünner Metallschichten nach der Abscheidung auf Wafern mit Durchmessern von 100 mm bis 300 mm messen. Die genauen technischen Spezifikationen sind in der Anlage 'Detailed Technical Specifications_PR1295450_SheetResistanceMeasurementTool.pdf' enthalten, die dem Leistungsverzeichnis beigefügt ist. Zusätzlich besteht eine optionale Position für Kalibrierproben (Option 1, LV 1.10), die der Auftraggeber nach eigenem Ermessen abrufen kann. Die Lieferzeit ist als verbindliche Angabe in Kalenderwochen ab Auftragsvergabe zu nennen.
Die Angebotsfrist läuft bis zum 26.10.2026.
Das Verfahren ist als öffentliche Ausschreibung ausgestaltet. Ein konkreter Abgabetermin für Angebote ist in den vorliegenden Vergabeunterlagen nicht angegeben. Der Auftraggeber weist darauf hin, dass der Betrieb der Fraunhofer-Zentrale vom 21. Dezember 2026 bis 03. Januar 2027 eingeschränkt ist und in dieser Zeit keine Auskünfte erteilt werden. Die Zuschlagserteilung wird nach Abschluss der Angebotsprüfung vorgenommen; es wird angenommen, dass die Auftragserteilung am letzten Tag der Zuschlagsfrist erfolgt. Weitere Verfahrensdaten sind den vorliegenden Unterlagen nicht zu entnehmen.
Das Gerät muss die Messung des Schichtwiderstands dünner Metallschichten auf Wafern mit Durchmessern von 100 mm bis 300 mm ermöglichen. Die genauen technischen Anforderungen sind in der Anlage 'Detailed Technical Specifications_PR1295450_SheetResistanceMeasurementTool.pdf' festgelegt. Die Hersteller-Teilenummer ist verbindlich im Angebot anzugeben. Die verbindliche Lieferzeit ist als ganze Zahl in Kalenderwochen ab Auftragsvergabe anzugeben; relativierende Zusätze sind unzulässig. Das Angebot muss alle mit 'F' gekennzeichneten Pflichtpositionen des Leistungsverzeichnisses vollständig erfüllen; Nichterfüllung führt zum Ausschluss.
Der Vertrag umfasst die Lieferung des Geräts zu einem Festpreis (Nettopreis ohne Umsatzsteuer, USt. 19 %). Ein einseitiges Optionsrecht des Auftraggebers für zusätzliche Leistungen (Kalibrierproben) ist vereinbart. Vertragsbestandteile sind die Leistungsbeschreibung, die Allgemeinen Einkaufsbedingungen der Fraunhofer-Gesellschaft (April 2026), die VOL/B in aktueller Fassung, die kaufmännischen Bedingungen gemäß Anlage B_002, die Nachhaltigkeitsstandards sowie das Export-Klassifizierungsformular. Eine Anzahlungsbürgschaft ist als Anlage vorgesehen (B_006_BankbürgschaftBankguarantee.pdf).
Aus den Unterlagen haben wir 6 Eignungskriterien und 1 Zuschlagskriterium herausgezogen, darunter: Angaben zum Umsatz der Geschäftsjahre 2022, 2023, 2024 (falls vorhanden 2025).
Alle Dokumente dieses Verfahrens liegen im Vergabe-Archiv und lassen sich als ZIP herunterladen, auch nachdem die Ausschreibung auf den Vergabeplattformen offline genommen wurde. Enthalten sind je nach Verfahren Leistungsverzeichnis, Bewerbungsbedingungen, Vertragsbedingungen und die auszufüllenden Formulare.
Die vollständigen Vergabeunterlagen stehen Vergabe-Archiv Nutzern zur Verfügung. Die Registrierung ist kostenlos. Der Download läuft anschließend über Ihr Guthaben im Vergabe-Archiv, wie gewohnt.