Megaschallbecken zur Reinigung optischer Substrate und Maskenrohlinge

Leistungsumfang

Beschafft wird ein einzelnes Megaschall-Reinigungssystem als Neugerät ('all in one'-Gerät) zur nasschemischen Reinigung optischer Substrate und Maskenrohlinge aus der Halbleiter- und Optikfertigung. Das System muss runde Substrate von 3 Zoll bis 12 Zoll Durchmesser sowie rechteckige Substrate bis mindestens 300 x 275 x 15 mm reinigen können. Das Reinigungsbecken aus Edelstahl muss Innenmaße von mindestens 400 x 400 x 150 mm aufweisen, eine integrierte Heizung mit Temperaturregelung von 20 bis 80 Grad Celsius mit einer Konstanz besser als ±1 K besitzen und eine Megaschallanregung mit ca.

1 MHz Nennfrequenz und mindestens 1200 W elektrischer Leistung bereitstellen. Die Leistung muss zwischen 10 und 100 Prozent der Nennleistung einstellbar sein. Zur Leistung gehören Lieferung frei Verwendungsstelle, Installation und Inbetriebnahme mit Nachweis der Gerätespezifikationen sowie eine Ersteinweisung für mindestens zwei Mitarbeitende. Das Gerät wird am Fraunhofer IOF in Jena eingesetzt und muss für einen Reinraum ISO Klasse 5 geeignet sein.

Anforderungen an die Leistung

• Das Gerät muss als Neugerät geliefert werden und für den Einsatz im Reinraum ISO Klasse 5 geeignet sein.
• Die Außenmaße dürfen maximal 600 x 600 x 600 mm (LxBxH) betragen, damit das Gerät in einen handelsüblichen Chemikalienabzug passt.
• Das Gerät muss Transportgriffe für sicheren Transport und Aufstellung aufweisen.
• Es müssen runde Substrate von 3 Zoll bis 12 Zoll sowie rechteckige Substrate von 152 x 152 x 6 mm bis mindestens 300 x 275 x 15 mm vollständig im Megaschallfeld gereinigt werden können.
• Das Reinigungsbecken muss aus Edelstahl bestehen, Innenmaße von mindestens 400 x 400 x 150 mm bis maximal 475 x 475 x 175 mm aufweisen und glatte, gereinigte Innenflächen mit gerundeten Innenkanten haben.
• Das Becken muss mindestens einen Zulauf, einen Bodenablauf und einen Überlauf mit genormten Gewindeanschlüssen sowie eine Abdeckung haben.
• Die Megaschallanregung muss bei ca. 1 MHz (0,9 bis 1,1 MHz) arbeiten und mindestens 1200 W elektrische Leistung bereitstellen, einstellbar von 10 bis 100 Prozent.
• Das System muss für den Betrieb mit wässrigen Reinigungsmedien der Halbleiter- und Optikfertigung geeignet sein; Einschränkungen sind im Angebot anzugeben.
• Eine integrierte Beckenheizung mit Regelung muss eine Badtemperatur von mindestens 20 bis 80 Grad Celsius mit einer Konstanz besser als ±1 K ermöglichen.
• Technische Produktbeschreibungen oder Datenblätter sind zwingend dem Angebot beizulegen.
• Installation, Inbetriebnahme mit Nachweis der Gerätespezifikationen und Ersteinweisung für mindestens zwei Mitarbeitende sind Bestandteil der Leistung.
• Die Lieferzeit darf maximal 40 Wochen nach Auftragserteilung betragen.

Vertrag und Vergütung

Die Vergütung erfolgt auf Basis von Festpreisen; die Angebotspreise gelten frei Verwendungsstelle einschließlich Verpackung. Zahlungen werden innerhalb von 30 Tagen netto geleistet. Die Gewährleistung beträgt 24 Monate auf alle Komponenten ab Abnahme beziehungsweise Ablieferung. Als Nacherfüllung kann die Universität wahlweise Nachbesserung oder Ersatzlieferung verlangen. Bei Lieferverzug gelten die gesetzlichen Regelungen des BGB; eine Vertragsstrafe kann vereinbart werden.

Der Auftraggeber ist zur fristlosen Kündigung berechtigt, wenn gegen den Auftragnehmer Insolvenzverfahren eröffnet wird oder Handlungen gemäß §§ 331, 334 StGB vorliegen. Allgemeine Geschäftsbedingungen des Auftragnehmers haben keine Gültigkeit.

Ablauf des Verfahrens

Das Verfahren wird als öffentliche Ausschreibung gemäß ThürVgG in Verbindung mit § 9 UVgO durchgeführt. Das Aufforderungsschreiben datiert vom 17. September 2026. Bieterfragen sind spätestens sechs Tage vor Ende der Angebotsfrist zu stellen; Auskünfte werden bis spätestens vier Tage vor Fristablauf erteilt. Die Angebotsfrist endet am 6. Oktober 2026 um 10:00 Uhr; verspätet eingehende Angebote werden nicht berücksichtigt.

Die Lieferzeit beträgt maximal 40 Wochen nach Auftragserteilung. Die Kommunikation erfolgt ausschließlich über die e-Vergabeplattform des Bundes (evergabe-online.de).

Was Vergabestellen daraus mitnehmen können

Die Leistungsbeschreibung ist technisch sehr präzise und gut strukturiert: Mindestanforderungen und Bewertungskriterien (z. B. Kompaktheit) werden klar voneinander getrennt, was die Angebotswertung erleichtert und rechtssicher macht. Bemerkenswert ist die Kombination aus absoluten Ausschlussmaßen (max. 600 x 600 x 600 mm) und einem qualitativen Optimierungsziel ('so kompakt wie möglich'), das als Zuschlagskriterium dienen kann.

Andere Vergabestellen sollten prüfen, ob bei ähnlich spezifischen Gerätebeschaffungen ebenfalls solche zweigeteilten Kriterien sinnvoll sind. Die Verpflichtung zur Beifügung von Datenblättern als zwingende Nachweisdokumentation mit klar geregelter Ausschlussfolge bei fehlenden Angaben ist vorbildlich und minimiert Auslegungsstreitigkeiten. Der Lieferort bei einem Dritten (Fraunhofer IOF statt Universität selbst) sollte in vergleichbaren Verfahren frühzeitig in der Leistungsbeschreibung benannt und vertraglich abgesichert werden.

Die Einbeziehung der ThürVgG-Anforderungen inklusive Nachunternehmerverpflichtungen ist vollständig und rechtskonform umgesetzt.