Die Universität Heidelberg beschafft eine Atomlagenabscheidungsanlage (ALD) für thermische und plasmagestützte Abscheidung hochpräziser Dünnfilme auf planaren und dreidimensional vorstrukturierten Substraten. Das System soll die Abscheidung supraleitender Filme (insbesondere Niobiumnitrit), dielektrischer Dünnfilme sowie magnetischer Materialien und High-k-Dielektrika ermöglichen. Enthalten sind Lieferung, Inbetriebnahme, Einweisung und Abnahme inklusive Funktionstest.
| Reichweite | national/EU (oeVergabe) |
| Vergabeart | Offenes Verfahren |
| Kategorie | Lieferleistungen |
| Erfüllungsort | Heidelberg |
| vergabe@zuv.uni-heidelberg.de Freischalten | |
| Telefon | +49 6221/54-12456 Freischalten |
| Website | https://ausschreibungen.landbw.de Freischalten |
| Leistungsverzeichnis | 31 KB | |
| Sonstige | 780 KB |
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Muster-Leistungsverzeichnisse ansehen Vergabe-Archiv durchsuchenDie Universität Heidelberg beschafft eine einzelne Atomlagenabscheidungsanlage (ALD) für Forschungszwecke am Kirchhoff-Institut für Physik (KIP), Gebäude INF225a, Heidelberg. Das System muss sowohl thermische als auch plasmagestützte ALD unter hochreinen Bedingungen ermöglichen und ist für den Einsatz im Reinraum (ISO 5) ausgelegt. Die Anlage besteht aus einer Haupteinheit (max.
250 cm x 90 cm Stellfläche, max. 1 t Gewicht ohne separate Teile) mit Prozesskammer aus Vollaluminium, Vakuumschleuse, Plasmaquelle (mind. 600 W, 13,56 MHz), beheizbarer Substratelektrode (30 °C bis 400 °C), Gasversorgungssystem für fünf Linien (O2, N2, H2, Ar, NH3) sowie mindestens vier Precursorplätzen. Gefordert sind ein In-situ-Ellipsometer, eine speicherprogrammierbare Steuerung (SPS) mit PC und Display (mind.
22 Zoll) sowie Prozessrezepte für Niobiumnitrit, Aluminiumnitrit und Aluminiumoxid. Die Anlage soll künftig um einen Handler, ein CVD-Modul und ein ALE-Modul erweiterbar sein. Im Lieferumfang enthalten sind Lieferung (inkl. Abladen vor dem Gebäude), betriebsfertige Übergabe, Funktionstest, Einweisung (mind. 3 Tage Prozessspezialist vor Ort) und Abnahme. Die Lieferung muss innerhalb von 60 Wochen nach Auftragsvergabe erfolgen.
Der Vertrag kommt durch Zuschlag auf das Angebot zustande, ohne dass ein gesondertes Vertragswerk erforderlich ist; die Vergabe- und Vertragsunterlagen werden Vertragsbestandteil. Es gilt ein Festpreis, der den Wertungsbruttopreis inklusive aller Leistungen (Einweisung, Lieferung, Inbetriebnahme) nicht übersteigen darf. Die Gewährleistung beträgt 12 Monate ab Abnahmedatum und umfasst Steuersoftware sowie mechanische und elektronische Komponenten; ausgenommen sind Mängel durch Fehlbedienung oder nicht bestimmungsgemäße Benutzung sowie Eingriffe Dritter ohne Autorisierung.
Der Auftragnehmer ist verpflichtet, eine kostenlose Service-Hotline mit telefonischer Erreichbarkeit an Standardwerktagen 8:00 bis 17:00 Uhr, einer Reaktionszeit von max. 30 Minuten und einer vor-Ort-Reaktionszeit von max. 5 Werktagen vorzuhalten. Langfristiger technischer Support und Prozessunterstützung für mindestens 10 Jahre ab Abnahme sind verbindlich zuzusagen; darüber hinausgehende Zusagen werden bewertet.
Das Verfahren wird als offenes Verfahren nach § 15 VgV durchgeführt. Bieterfragen müssen bis spätestens 20.11.2026, 10:00 Uhr über den Vergabemarktplatz Baden-Württemberg eingereicht werden. Die Angebotsfrist endet am 30.11.2026 um 10:00 Uhr. Die Zuschlags- und Bindefrist endet am 15.01.2027; ein früherer Zuschlag wird angestrebt. Die gesamte Kommunikation läuft ausschließlich über den Vergabemarktplatz Baden-Württemberg (https://ausschreibungen.landbw.de, Bekanntmachungs-ID: CXR6YYVY49S).
Aus den Original-Unterlagen dieses Verfahrens gewonnen.
Beim offenen Verfahren fordert der Auftraggeber eine unbeschränkte Zahl von Unternehmen öffentlich zur Abgabe von Angeboten auf. Eine vorgeschaltete Eignungsprüfung gibt es nicht, Eignung und Angebot werden in einem Schritt eingereicht und geprüft.
Die Bekanntmachung stammt aus einer Quelle, die nationale und EU-weite Verfahren gemeinsam führt. Ob ober- oder unterschwellig vergeben wurde, steht in der Bekanntmachung selbst und in den Vergabeunterlagen des Verfahrens.
Für eine eigene Beschaffung lässt sich aus diesem Verfahren mehr ableiten als der Gegenstand: wie der Auftraggeber die Leistung beschrieben und gegliedert hat, welche Eignungsnachweise er verlangt, wie er Preis und Qualität gewichtet und welche Vertragsbedingungen er beilegt. Genau diese Unterlagen liegen im Vergabe-Archiv vollständig vor, auch nachdem das Verfahren auf den Vergabeplattformen offline genommen wurde.
Universität Heidelberg ist der öffentliche Auftraggeber dieser Ausschreibung mit Erfüllungsort Heidelberg.
Die Universität Heidelberg beschafft eine einzelne Atomlagenabscheidungsanlage (ALD) für Forschungszwecke am Kirchhoff-Institut für Physik (KIP), Gebäude INF225a, Heidelberg. Das System muss sowohl thermische als auch plasmagestützte ALD unter hochreinen Bedingungen ermöglichen und ist für den Einsatz im Reinraum (ISO 5) ausgelegt. Die Anlage besteht aus einer Haupteinheit (max. 250 cm x 90 cm Stellfläche, max. 1 t Gewicht ohne separate Teile) mit Prozesskammer aus Vollaluminium, Vakuumschleuse, Plasmaquelle (mind. 600 W, 13,56 MHz), beheizbarer Substratelektrode (30 °C bis 400 °C), Gasversorgungssystem für fünf Linien (O2, N2, H2, Ar, NH3) sowie mindestens vier Precursorplätzen.
Die Angebotsfrist läuft bis zum 30.11.2026.
Das Verfahren wird als offenes Verfahren nach § 15 VgV durchgeführt. Bieterfragen müssen bis spätestens 20.11.2026, 10:00 Uhr über den Vergabemarktplatz Baden-Württemberg eingereicht werden. Die Angebotsfrist endet am 30.11.2026 um 10:00 Uhr. Die Zuschlags- und Bindefrist endet am 15.01.2027; ein früherer Zuschlag wird angestrebt. Die gesamte Kommunikation läuft ausschließlich über den Vergabemarktplatz Baden-Württemberg (https://ausschreibungen.landbw.de, Bekanntmachungs-ID: CXR6YYVY49S).
Die Anlage muss im Reinraum ISO 5 (21 °C ± 1 °C, 50 % ± 5 % Luftfeuchtigkeit) betrieben werden können. Dreiphasiger Stromanschluss 400 V, 50 Hz ist erforderlich; der Energieverbrauch unter Volllast darf 15 kW nicht übersteigen. Die Stellfläche der Haupteinheit darf 250 cm x 90 cm nicht überschreiten; das Gewicht ohne separate Teile darf 1 t nicht übersteigen. Das System muss Substrate von 6 x 6 mm² bis 8 Zoll Durchmesser und bis 10 mm Dicke ohne mechanischen Umbau prozessieren können. Eine Vakuumschleuse mit schrittmotorgesteuertem Transferarm, VAT MonoVAT-Ventil und separater Trockenpumpe (>= 15 m³/h) ist vorzusehen.
Der Vertrag kommt durch Zuschlag auf das Angebot zustande, ohne dass ein gesondertes Vertragswerk erforderlich ist; die Vergabe- und Vertragsunterlagen werden Vertragsbestandteil. Es gilt ein Festpreis, der den Wertungsbruttopreis inklusive aller Leistungen (Einweisung, Lieferung, Inbetriebnahme) nicht übersteigen darf. Die Gewährleistung beträgt 12 Monate ab Abnahmedatum und umfasst Steuersoftware sowie mechanische und elektronische Komponenten; ausgenommen sind Mängel durch Fehlbedienung oder nicht bestimmungsgemäße Benutzung sowie Eingriffe Dritter ohne Autorisierung.
Aus den Unterlagen haben wir 3 Eignungskriterien und 14 Zuschlagskriterien herausgezogen, darunter: Nachweis von mindestens zwei Referenzprojekten für vergleichbare Lieferungen.
Die Vergabeunterlagen rufen Sie beim Auftraggeber ab, ueber die in der Bekanntmachung genannte Vergabeplattform. Diese Seite fasst die oeffentlichen Eckdaten des Verfahrens zusammen (Gegenstand, Auftraggeber, Verfahrensart, Fristen) und verweist auf die Bekanntmachung.
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